“溅射铣蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	溅射铣蚀
释义	溅射铣蚀 Encyclopedia 工学刻蚀工艺释 sputter etching and milling溅射铣蚀在集成电路制造中，利用低气压下惰性气体辉光放电所产生的离子，经加速后入射到薄膜表面，使裸露的薄膜被溅射而除去的技术。
随便看	本原理想本原生成元本原的本原直角三角形本原真公式本原矩阵本原类本原素因子本原置换群本原群本原群作用本原行动本原表示本原表示空间本原语句本原近环本原部分本原闭包本原闭链本原集本-古里安，D. 本台短评本同末异本命年本哈

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