“溅射铣蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	溅射铣蚀
释义	溅射铣蚀 Encyclopedia 工学刻蚀工艺释 sputter etching and milling溅射铣蚀在集成电路制造中，利用低气压下惰性气体辉光放电所产生的离子，经加速后入射到薄膜表面，使裸露的薄膜被溅射而除去的技术。
随便看	R. Schatten (1911—1977) R-S code RS code RS Coupling RS CVn binary RS CVn star RS CVn variable RSD r-section r semisimple ring r-semisimple ring R-sequence RSET RSFQ device RSJ model RSK algorithm r-skeleton RSK算法 RSLIS RSM R. S. Palais R. S. Palais (1931—) R-squared RSR RSRG

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