“超净高纯电子特气”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	超净高纯电子特气
释义	超净高纯电子特气 Encyclopedia 工学半导体集成电路用化学品释 ultra-clean and high-purity electronic specific gas超净高纯电子特气纯度高于99.99%的电子气体。
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