“表面薄膜制备技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	表面薄膜制备技术
释义	表面薄膜制备技术 Encyclopedia 工学表面工程技术释 surface coating technology表面薄膜制备技术通过电子束、分子束、离子束、射频、磁控等技术，将金属、合金或化合物蒸发或溅射，在基底表面形成与其牢固结合的薄膜的方法。
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