“表面微加工”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	表面微加工
释义	表面微加工 Encyclopedia 工学微纳机电系统释 surface micromachining表面微加工以硅片为基体，通过多层薄膜淀积和图形加工制备三维微机械结构的一种重要的微电子系统加工手段。
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