“自对准双重曝光技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	自对准双重曝光技术
释义	自对准双重曝光技术 Encyclopedia 工学光刻技术释 self alignment double exposure technology自对准双重曝光技术集成电路制造中，在光刻环节对光刻胶覆盖的晶片分别进行两次曝光的技术。
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