“聚焦离子束光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	聚焦离子束光刻
释义	聚焦离子束光刻 Encyclopedia 工学磁致动器释 focused ion beam lithography聚焦离子束光刻在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10～200千电子伏特，在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案，制备微纳器件的工艺。 Physics ＞光学＞纳米光学和超快光学＞释义 focus ion beam milling聚焦离子束光刻
随便看	coupling charge coupling coefficient coupling condition coupling constant coupling constant integral coupling constant renormalization coupling coordination of the social, economic and environmental pillars coupling; copulas coupling effect coupling energy coupling factor coupling loss factor coupling metrics coupling misalignment coupling of marching soldiers for diffusion process coupling of marching soldiers for jump process coupling of multiple physical fields and seepage field coupling of numerical method coupling-out coupling polymerization coupling reaction coupling reaction chemiluminescence coupling reagent coupling scheme coupling strength

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