“聚焦离子束光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	聚焦离子束光刻
释义	聚焦离子束光刻 Encyclopedia 工学磁致动器释 focused ion beam lithography聚焦离子束光刻在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10～200千电子伏特，在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案，制备微纳器件的工艺。 Physics ＞光学＞纳米光学和超快光学＞释义 focus ion beam milling聚焦离子束光刻
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