“磁控溅射镀膜装置”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	磁控溅射镀膜装置
释义	磁控溅射镀膜装置 Encyclopedia 工学物理气相沉积技术释 magnetron sputtering equipment磁控溅射镀膜装置在真空室中利用磁控溅射技术在基片（工件）表面形成薄膜的镀膜装置，主要由真空室、真空（排气）系统、充气系统、磁控溅射源系统和控制系统组成。
随便看	裁判员技术等级制度裁判员注册制度裁判员规则裁判员道德裁判方法裁剪裁剪曲面裁员裁员管理裁定既判力裁截裁片检验裁量行政行为裂体生殖裂体腔裂化反应室裂化因数裂化抑制法裂化汽油裂区裂区设计裂变裂变gamma射线裂变γ射线裂变中子

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。