“硅基微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	硅基微机电系统
释义	硅基微机电系统 Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	顾威顾孟余顾孟潮顾学箕顾学颉文学论集顾宇洲顾安顾宏中顾实汗顾客顾客价值顾客关系管理顾客资本顾宪成顾崇衔顾广圻顾廷龙顾建国顾彩顾德华顾心怿顾恂顾恺之顾恺之女史箴图卷顾执中

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。