“硅基微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	硅基微机电系统
释义	硅基微机电系统 Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	不对称模式不对称欧拉陀螺不对称毒化不对称活化不对称电势不对称的不对称碳原子不对称联络不对称聚合酶链反应不对称膨胀不对称自催化不对称虚拟化不对称裂变不对称诱导不对称诱导聚合不对称负荷不对称轧制不对称转化不对称选择性聚合不对称配体不对称陀螺不导电性不射之射不尽十进小数不尽根

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