“电感耦合等离子体化学气相沉积”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电感耦合等离子体化学气相沉积
释义	电感耦合等离子体化学气相沉积 Encyclopedia 工学【半导体工艺技术】释电感耦合等离子体化学气相沉积基于传统等离子体增强化学气相沉积（plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD）技术，结合电感耦合等离子体技术产生的一种化学气相沉积方法。
随便看	等时的等时线等时线年龄等时线截距等时线斜率等时线法年龄等时试井等时问题等时间切片等时降落轨迹等时面等明天等显像密度测量术等晕等晕区等晕斑角等晕条件等晕现象等晕角等曲率等曲率冷暗物质模型等曲率初条件等曲率扰动等曲率模型等曲率涨落

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。