“电感耦合等离子体化学气相沉积”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电感耦合等离子体化学气相沉积
释义	电感耦合等离子体化学气相沉积 Encyclopedia 工学【半导体工艺技术】释电感耦合等离子体化学气相沉积基于传统等离子体增强化学气相沉积（plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD）技术，结合电感耦合等离子体技术产生的一种化学气相沉积方法。
随便看	综合管廊综合管线图综合类展览综合经济地图综合耀斑指数综合育种值综合育种方法综合能力综合能源消费量综合自动化综合自然区划综合自然区划图综合自然地图综合自然地理学综合艺术综合艺术教育综合英汉大辞典综合著录综合计算工时工作制综合设计综合证明法综合评价综合调式综合调节学说综合货运枢纽

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。