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电感耦合等离子体化学气相沉积
释义
电感耦合等离子体化学气相沉积
Encyclopedia
工学
【半导体工艺技术】
释
电感耦合等离子体化学气相沉积
基于传统等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD)技术,结合电感耦合等离子体技术产生的一种化学气相沉积方法。
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更新时间:2026/4/16 14:57:56