“电子注聚焦”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子注聚焦
释义	电子注聚焦 Encyclopedia 工学电子注聚焦释 electron beam focusing电子注聚焦通过聚焦系统实现电子注成形、电子注形状的保持和电子注的发散。
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