“电子束曝光技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子束曝光技术
释义	电子束曝光技术 Encyclopedia 理学电子束曝光技术释 electron beam lithography电子束曝光技术利用电子束在样品表面制造、加工图样的工艺。是纳米加工领域的关键技术。 Chemistry ＞物理化学＞纳米化学＞释义 electron beam lithography电子束曝光技术
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