“电子束光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子束光刻
释义	电子束光刻 Encyclopedia 工学磁致动器释 electron beam lithography电子束光刻利用聚焦的加速电子束在涂有抗蚀剂的铬板或者半导体基片上进行微纳米结构图形制备的工艺。
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