“激光参数检测”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	激光参数检测
释义	激光参数检测 Encyclopedia 工学光刻光源释 laser parameter detection激光参数检测在光刻光源投入使用前，对光刻激光性能参数进行准确检测评估，并在使用过程中实时监测控制。与光刻系统成本、光刻质量、成品率、效率和设备利用率等密切相关。
随便看	Weyl asymptotic formula Weyl basis Weyl calculus Weyl canonical basis Weyl chamber Weyl character formula Weyl conformal curvature tensor Weyl connection Weyl correspondence Weyl crater Weyl criterion Weyl curvature tensor Weyl denominator formula Weyl dimension formula Weyl-Eddington tensor Weyl equation Weyl form Weyl formula Weyl group Weyl group of algebraic group Weyl Hormander calculus Weyl-Hormander calculus Weyl Hörmander calculus Weyl-Hörmander calculus Weyl integral formula

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