“激光参数检测”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	激光参数检测
释义	激光参数检测 Encyclopedia 工学光刻光源释 laser parameter detection激光参数检测在光刻光源投入使用前，对光刻激光性能参数进行准确检测评估，并在使用过程中实时监测控制。与光刻系统成本、光刻质量、成品率、效率和设备利用率等密切相关。
随便看	active illumination imaging technology active imaging active imaging system active immunization active immunotherapy active impurity active infrared active infrared decoy active infrared detector active infrared system active integrated antenna active interferometer active intermediate compound active interrogation active inverting circuit active ion active laser Q-switched technology active lattice active layer active learning active level active life expectancy active load active load reaction active longitude

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