“溅射靶材”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	溅射靶材
释义	溅射靶材 Encyclopedia 工学溅射靶材释 sputtering target溅射靶材通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统，于适当工艺条件下在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
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