“深紫外光刻技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	深紫外光刻技术
释义	深紫外光刻技术 Encyclopedia 工学光刻技术释 deep ultraviolet lithography technology深紫外光刻技术集成电路制造中，应用波长为深紫外波段曝光光源的光刻技术。
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