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单词
浅槽隔离
释义
浅槽隔离
Encyclopedia
工学
CMOS工艺
释
shallow trench isolation;STI
浅槽隔离
集成电路制造中,防止相邻半导体器件之间由于电场延伸串扰产生寄生漏电流的高级隔离工艺技术。
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更新时间:2026/6/11 22:10:48