“气相沉积”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	气相沉积
释义	气相沉积 Encyclopedia 工学微纳机电系统释 physical/chemical vapor deposition气相沉积利用气相中发生的物理或化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属、化合物单层或多层薄膜的技术。 Physics 凝聚态物理学结构 vapor deposition气相沉积
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