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扫描探针光刻
释义
扫描探针光刻
Encyclopedia
工学
磁致动器
释
scanning probe lithography
扫描探针光刻
利用多种扫描探针显微镜开展纳米级加工的一系列光刻技术的总称。
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更新时间:2026/10/24 22:00:59