“快速热退火”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	快速热退火
释义	快速热退火 Encyclopedia 工学杂质扩散工艺释 rapid thermal anneal快速热退火在极短的时间内，通过快速升降温在高温下实现半导体材料掺杂激活与缺陷修复的半导体制造工艺技术。是一种快速热处理工艺。
随便看	conformal array antenna conformal automorphism conformal azimuthal projection conformal block conformal bootstrap conformal bundle conformal capacity conformal change conformal class conformal conical projection conformal conic projection conformal conjugation conformal connection conformal coordinate conformal correspondence conformal curvature conformal curvature tensor conformal cylindrical projection conformal deformation conformal density conformal diagram conformal diffeomorphism conformal differential geometry conformal dimension conformal equivalence

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