“快速热氧化”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	快速热氧化
释义	快速热氧化 Encyclopedia 工学硅热氧化工艺释 rapid thermal oxidation快速热氧化在极短的时间内通过快速升降温在高温下实现硅表面迅速热氧化的半导体制造工艺技术。是快速热处理工艺之一。
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