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微/纳机电系统
释义
微/纳机电系统
Encyclopedia
工学
微纳机电系统
释
micro/nano electromechanical system; M/NEMS
微/纳机电系统
利用微/纳制造技术加工出的各种微/纳结构和器件的系统。
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更新时间:2026/6/10 20:52:06