“微电子机械系统光开关”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微电子机械系统光开关
释义	微电子机械系统光开关 Encyclopedia 工学微电子机械系统光传感器释 micro-electromechanical system optical switch微电子机械系统光开关利用微执行器可动微镜阵列，通过控制微镜运动实现光信号导通与断开功能的器件。
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