“微环境送风系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微环境送风系统
释义	微环境送风系统 Encyclopedia 工学空气净化系统释 microenvironment air supply system微环境送风系统针对半导体芯片生产的高洁净度要求而建的局部小区域送风系统。于1984年在美国出现。
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