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微环境送风系统
释义
微环境送风系统
Encyclopedia
工学
空气净化系统
释
microenvironment air supply system
微环境送风系统
针对半导体芯片生产的高洁净度要求而建的局部小区域送风系统。于1984年在美国出现。
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更新时间:2026/3/4 18:39:41