“微机电系统多域耦合分析”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微机电系统多域耦合分析
释义	微机电系统多域耦合分析 Encyclopedia 工学﹝微纳设计与仿真﹞释 multiple-domain coupling analysis for MEMS微机电系统多域耦合分析针对微机电系统开展的多个物理场之间交互作用的数值计算分析过程。又称多物理场耦合分析。
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