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微机电惯性传感器
释义
微机电惯性传感器
Encyclopedia
工学
惯性测量单元
释
MEMS inertial sensor
微机电惯性传感器
采用微机电(MEMS)技术加工的一类惯性传感器,是MEMS器件的重要分支。
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更新时间:2026/6/12 16:00:57