“微执行器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微执行器
释义	微执行器 Encyclopedia 工学微纳器件释 micro actuators微执行器尺度或运动精度在1～100微米的把能量转化为力和运动的微机械部件或器件。理学微纳米机电系统释 micro-actuator微执行器微机电系统（MEMS）、微流控系统及微机械人等微系统中的重要核心部分。
随便看	径流模数径流流失径流潮流作用径流调节时历法径流调节概率法径流调节系数径流调节计算径流调节随机模拟法径矢径移径移占优吸积流径节径迹径迹光度学径迹加法径迹室径迹探测器径迹数径迹数计数径迹法累计测氡仪径迹灵敏靶径迹粒子数径迹蚀刻径迹蚀刻剂量计径迹重建

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