“微执行器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微执行器
释义	微执行器 Encyclopedia 工学微纳器件释 micro actuators微执行器尺度或运动精度在1～100微米的把能量转化为力和运动的微机械部件或器件。理学微纳米机电系统释 micro-actuator微执行器微机电系统（MEMS）、微流控系统及微机械人等微系统中的重要核心部分。
随便看	正则位置正则依赖性正则值正则偏微分方程正则元正则公理正则共轭正则共轭变量正则共轭场正则共轭基正则共轭的正则关系正则典范系统正则内点正则凸函数正则凸曲面正则凸集正则函数正则函数代数正则函数元正则函数层正则函数束正则函数集正则分子轨道正则分布

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