“微悬臂梁”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

微悬臂梁

Encyclopedia

工学微纳结构释
micro cantilever微悬臂梁
采用硅等材料经微机械加工技术制成的微型梁结构。
理学化学天平释
microcantilever微悬臂梁
几何尺寸为微米范围，且可以用光学、电学等方法测量、表征或传感其自由端形变或空间位置信息的微型机械电子装置或器件。又称微悬臂梁传感器。有的文献上也将悬臂梁和微悬臂梁混用，所指含义相同。微悬臂梁是分析化学和仪器仪表行业名词。

单词	微悬臂梁
释义	微悬臂梁 Encyclopedia 工学微纳结构释 micro cantilever微悬臂梁采用硅等材料经微机械加工技术制成的微型梁结构。理学化学天平释 microcantilever微悬臂梁几何尺寸为微米范围，且可以用光学、电学等方法测量、表征或传感其自由端形变或空间位置信息的微型机械电子装置或器件。又称微悬臂梁传感器。有的文献上也将悬臂梁和微悬臂梁混用，所指含义相同。微悬臂梁是分析化学和仪器仪表行业名词。
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