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微加工工艺
释义
微加工工艺
Encyclopedia
工学
微纳机电系统
释
micromachining process
微加工工艺
产生微米或者更小尺度微型结构或器件的加工方法。也泛指所有微小器件设计与加工技术的总称。
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更新时间:2026/6/26 10:16:46