“平坦化工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	平坦化工艺
释义	平坦化工艺 Encyclopedia 工学平坦化工艺释 planarization process平坦化工艺在集成电路制造中，为了克服沟槽填充、台阶覆盖、大的高低起伏带来的问题而采用的技术。
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