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定向自组装光刻技术
释义
定向自组装光刻技术
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
directed self-assembly lithography technology;DSA
定向自组装光刻技术
集成电路制造中,运用材料内部的自然机制来产生有序结构进而强化光刻的技术。
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更新时间:2026/10/9 2:29:49