“多功能集成微电子机械系统传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	多功能集成微电子机械系统传感器
释义	多功能集成微电子机械系统传感器 Encyclopedia 工学微电子机械系统释 multi-function integrated micro-electromechanical system sensor多功能集成微电子机械系统传感器利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上，实现多参数测量的传感器。
随便看	未离解的未约化晶胞未经区分的未经发现资源未经授权的路径未经探测的未经校核的未经照射的未经碰撞的中子未经触动的未结束对策未结束问题未给剂量未给剂量的未绝缘的未编号小行星未耦合的波函数未聚焦的未衰减的未见伴星未见伴星系未解决的未解决的问题未计算的未证明的

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