“chemical mechanical planarization”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	chemical mechanical planarization
释义	chemical mechanical planarization Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
随便看	多胎多胚多胚现象多胞形多胞腔多胞腔图多胞腔星形化多胞腔的多胞腔的棱多胞腔的面多胞腔顶点多胺多能多能互补发电系统多能干细胞多能性多能气象仪多能涡流法检验仪多能的多能级激光器多能级系统多能细胞多能综合利用多能蛋白聚糖多能造血干细胞

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