“chemical mechanical planarization”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	chemical mechanical planarization
释义	chemical mechanical planarization Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
随便看	场[致]发射电子显微镜场致发射电子显微镜场致发射电子的场致发射阴极场致电离场致离子化场致离子显微镜场致荷电场[致]蒸发场致蒸发场致解吸场致退火场蒸发场记场论场论可重整的判据场论方法场论的场调管场贯联弧场透镜场量子场量子化场镜场镜系统

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