“在线波像差检测”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	在线波像差检测
释义	在线波像差检测 Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 on-line aberration在线波像差检测基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。
随便看	组成成分的组成效应组成酶组成重复单元组成非均-性组成非均性组播组方原则组方法组曲组构组氨酶组氨酸组氨酸操纵子组氨酸标签组氨醇组版组画组界组相联映射组相联高速缓存组矩量组离差组稿组稿方案

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