“单晶片吸除技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	单晶片吸除技术
释义	单晶片吸除技术 Encyclopedia 工学半导体单晶片吸除技术释 gettering of semiconductor wafers单晶片吸除技术在远离硅片表面层的体内或背表面层人为地形成缺陷或损伤，吸除正表面层内的微缺陷和快扩散的重金属杂质，使表面层内既无缺陷又无有害金属杂质沾污的技术。又称吸杂技术。
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