“化学气相渗入”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学气相渗入
释义	化学气相渗入 Encyclopedia 工学[薄膜材料]释 chemical vapor infiltration化学气相渗入将具有特定形状的预制体置于沉积炉中，通入的气态前驱体通过扩散、对流等方式进入预制体内部，在一定温度下发生复杂的化学反应，生成固态的陶瓷类物质并以涂层的形式沉积于增强相表面或孔隙中，随着沉积的继续进行，孔隙越来越小，最终成为连续相，即陶瓷基体的方法。
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