“化学气相淀积工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学气相淀积工艺
释义	化学气相淀积工艺 Encyclopedia 工学化学气相淀积工艺释 None化学气相淀积工艺利用一定化学配比的反应气体，在特定激活条件下(通常是一定高的温度环境)，把通过气相化学反应生成的新的膜层材料淀积到基片上制取膜层的一种工艺。
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