“化学气相沉积 ”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学气相沉积
释义	化学气相沉积 Encyclopedia 理学〔半导体材料〕释 chemical vapour deposition; CVD化学气相沉积一种常见的制备单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的气相生长方法。
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