“化学束外延”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学束外延
释义	化学束外延 Encyclopedia 工学半导体外延生长释 chemical beam epitaxy化学束外延在分子束外延（MBE）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）基础上发展起来的超薄层材料生长技术。简称CBE。
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