“化学机械平坦化”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学机械平坦化
释义	化学机械平坦化 Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
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