“化学机械平坦化”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学机械平坦化
释义	化学机械平坦化 Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
随便看	special justifiable defense special labels for wild animal utilization management special Lagrangian submanifold special lanes special Laplace transformation special law of contraposition special laws for tort Special Libraries Association special library Special Library Management Special Library Science Special Licenses special Lie algebra special Lie group special light llumination special linear group special linear transform special literature special machine special machine tool line special magnetic materials special manifold special matrix special maximum resolution emulsion special-media map

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。