“化学机械平坦化”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	化学机械平坦化
释义	化学机械平坦化 Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
随便看	不连续的不连续相变不连续积分不连续空间不连续系数不连续紧统不连续线不连续群不连续过程不连续问题不连续随机变量不连续集不连续鞅不连轴不连通图不连通域不连通形式不连通性不连通拓扑不连通流形不连通的不连通空间不连通紧统不连通群不连通集

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。