“刻蚀自停止技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	刻蚀自停止技术
释义	刻蚀自停止技术 Encyclopedia 工学磁致动器释 etch stop technique刻蚀自停止技术一种用于制备微机械电子器件的加工技术。
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