“全硅化物工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	全硅化物工艺
释义	全硅化物工艺 Encyclopedia 工学CMOS工艺释 full silicide process全硅化物工艺集成电路制造中，利用金属与硅发生化学反应形成硅化物，实现具有不同功函数的金属栅的工艺技术。
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