“光栅衍射对准测量”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光栅衍射对准测量
释义	光栅衍射对准测量 Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 diffraction grating alignment measure光栅衍射对准测量在硅片面或被测物表面制作相位光栅标记，测量光束在照射至相位光栅标记后，产生多级衍射光束，通过光路结构使各级正负级次衍射光束相互发生干涉的测量方法。
随便看	正常引力位正常弦正常彗尾正常态正常恒星正常拐点正常拓扑正常拟旋转正常持续时间正常方向正常旋涡星系正常旋转正常旋转群正常旗流形正常无限代数正常时差正常星云正常星等正常星系正常星风正常映射正常曲面正常有效解正常有理函数正常极值曲线场

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