“光刻烘焙工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻烘焙工艺
释义	光刻烘焙工艺 Encyclopedia 工学光刻技术释 lithography bakeing process光刻烘焙工艺集成电路制造中，在光刻环节去除光刻胶中的溶剂，增强光刻胶对基片表面附着力的加热工艺。
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