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光刻烘焙工艺
释义
光刻烘焙工艺
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
lithography bakeing process
光刻烘焙工艺
集成电路制造中,在光刻环节去除光刻胶中的溶剂,增强光刻胶对基片表面附着力的加热工艺。
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更新时间:2026/1/13 21:37:23