“光刻机照明系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻机照明系统
释义	光刻机照明系统 Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	meteor station meteor storm meteor stream meteor survey meteor swarm meteor trail meteor trail communication meteor trail radar meteor train meteor trajectory METEOR评价指标 Meteosat meter meterage meterage per rig-month meterage property evaluation of radioactitive instruments meter-candle meter component metered dose inhaler metering metering effect metering facilities for oil wells metering modes metering of heat-supply system metering of heat-supply system by household heat meter

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