“光刻机照明系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻机照明系统
释义	光刻机照明系统 Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	误发弹误吸误工期、营养期、护理期评定误差误差事件误差传导误差传感器误差传播误差传播定律误差传递误差传递公式误差估计误差值误差函数误差函数分布误差函数补数的积分误差分布误差分布律误差分析误差分离误差分离技术误差分量误差反传学习算法误差反向传播算法误差变量模型

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。