“光刻机照明系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻机照明系统
释义	光刻机照明系统 Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	Lefschetz theorem on (1,1)-classes Lefschetz trace formula left left action left additive fractions left adherent point left adjoint left adjoint functor left adjoint homomorphism left adjoint linear mapping left almost-periodic function left almost split map left alternative law left alternative ring left amenable left A-module left analytic function left and right distributive Left and Right Spring Quarters left annihilating left annihilator left annihilator ideal left anteriorfascicular block left approximate identity left approximate limit

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