“光刻曝光工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻曝光工艺
释义	光刻曝光工艺 Encyclopedia 工学光刻技术释 lithography exposure process光刻曝光工艺集成电路制造中，将掩膜上的几何图形转移到涂覆在基片表面的光刻胶中的技术。
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