“光刻投影物镜”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻投影物镜
释义	光刻投影物镜 Encyclopedia 工学光刻投影物镜释 lithography projection objectives光刻投影物镜将集成电路芯片的掩模图形线条按照-0.25的微缩倍率经曝光投影后复制到硅片上的光刻机组件。是光刻机中最精密的核心部件。
随便看	Scheuer-Readhead hypothesis SCHF approximation Schiaparelli crater Schiaparelli，Giovanni Virginio Schickard schiefspiegler telescope Schiff base Schiffer Schilder theorem Schiller crater Schiller On Acting Schilt photometer schima superba Schimidt Schindewolf, Otto Heinrich Schindler's List schisandrae sphenantherae fructus schisandrin schism schist schistosoma schistosome cercarial dermatitis schistosomiasis schistosomiasis mansoni schistostatin

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