“体微机械加工”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	体微机械加工
释义	体微机械加工 Encyclopedia 工学微纳机电系统释 bulk micromachining体微机械加工通过选择性地去除衬底材料以形成三维微结构的技术。
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