“smart cut technology”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	smart cut technology
释义	smart cut technology Encyclopedia 工学区熔法晶体生长释 smart cut technology智能切割工艺在低温条件下，综合直接键合与离子注入方法制备绝缘体上硅（silicon on insulator，SOI）衬底的工艺技术。
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