“silicon-based micro electro-mechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	silicon-based micro electro-mechanical system
释义	silicon-based micro electro-mechanical system Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	体肌丝体育体育与健康课程体育与科学体育之研究体育之窗体育习俗体育事业体育产业体育产业基地体育产业政策体育产业结构体育产业集群体育人口体育人才培养专项计划体育人类学体育仪式体育仲裁体育价值观体育休闲体育传播体育传播学体育传统项目学校体育传统项目学校管理办法体育伤害

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。