“silicon-based micro electro-mechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	silicon-based micro electro-mechanical system
释义	silicon-based micro electro-mechanical system Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	玛多县玛大瓦玛奈科尔皮，J. 玛妙格礼玛尔佳，T. 玛尤尔卡，J. 玛尼石玛扎巴哈石窟玛拉德射电天文台玛拉沁夫玛斯纳维玛旁雍热田玛旁雍错玛旁雍错国家森林公园玛普，A. 玛曲县玛木然止泻胶囊玛柯河玛柯河林场玛格丽塔岛玛格丽塔峰玛格丽特·德·纳瓦尔玛格丽特一世玛格丽特二世玛格丽特公主医院

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。