“silicon-based MEMS”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	silicon-based MEMS
释义	silicon-based MEMS Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	function word function zoning function乘性数论函数 function多维特征函数 function库尔贝克-莱布勒信息函数 function近似可微函数 functor functor adjoint on the left functor adjoint on the right functor algebra functor category functor category; category of functors functor Ext functor Hom functorial functorial colimit functorial completion functorial homomorphism functorial isomorphism functoriality functorial limit functorial map functorial morphism functorial property functorial transformation

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